激光器

產品特點：IXION 193 SLM激(ji)光(guang)(guang)器是一款單(dan)頻全固態激(ji)光(guang)(guang)系統，應用于光(guang)(guang)學計量、193 nm步進光(guang)(guang)學校準或高功率(lv)ArF準分子的帶(dai)寬(kuan)控制等領域。光(guang)(guang)譜帶(dai)寬(kuan)接近其理論傅里葉極限(xian)。

產品價格：

廠商性質：生產廠家

更新時間：2026-01-19

產品型號：IXION 193 SLM

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IXION 193 SLM激光器的詳細資料：

IXION 193 SLM激光器是一款單頻全固態激光系統，應用于光學計量、193 nm步進光學校準或高功率ArF準分子的帶寬控制等領域。光譜帶寬接近其理論傅里葉極限。

該系(xi)統(tong)的(de)中心波長可定制，范圍(wei)在(zai)185至(zhi)194 nm之間，并可在(zai)訂(ding)購時(shi)配置為固定波長。

另(ling)外，系統(tong)還(huan)可以(yi)集成一臺(tai)絕對(dui)光(guang)(guang)譜(pu)精(jing)(jing)度(du)(du)為0.001 nm的(de)高精(jing)(jing)度(du)(du)光(guang)(guang)譜(pu)儀。這使(shi)得對(dui)激(ji)光(guang)(guang)光(guang)(guang)譜(pu)調(diao)諧的(de)控制具有(you)最大的(de)精(jing)(jing)度(du)(du)。

可(ke)選

圖形用戶界面
LabView庫
精密光譜儀
中(zhong)心波長(chang):185 ~ 194 nm
符合CDRH的快門

IXION 193 SLM 激光器應用

193 nm 計量
光譜儀校準
干涉度量
準分子種子源

IXION 193 SLM

波長	193.368 nm
平均功率	10 mW
脈寬	typ.8~2ns
脈沖能量	1.6 µJ
重頻	1~15 kHz
光束質量	M2 < 1.6
光譜帶寬	< 80 MHz
光譜可調諧性	> 10 pm
相干長度	> 2 m
脈沖穩定性	σ < 2.5 %

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